術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目 主要技術(shù)
測(cè)量行程(mm)
YVM-3020CNC YVM-4030CNC YVM-5040CNC
外形尺寸(mm) 300x200x200 400x300x200 500x400x200
儀器重量(KG) 300 320 350
測(cè)量精度 X,Y軸:(3+L/200)μm Z軸:(5+L/200)μm
重復(fù)精度 3μm
玻璃稱重(KG) 50KG
放大倍率
光學(xué)放大倍率0.7~4.5X,影像放大24~156X
(可擴(kuò)展至12-312X)
光柵尺分辨率 玻璃光柵尺,分辨率0.5μm
CCD 1/3高分辨率彩色相機(jī)600線
傳動(dòng)方式 臺(tái)灣精密級(jí)滾珠絲桿及導(dǎo)軌
運(yùn)動(dòng)控制 臺(tái)灣臺(tái)達(dá),伺服電機(jī)
上光源 3區(qū)8環(huán)LED冷光源,亮度可調(diào)
下光源 平行光路LED冷光源,亮度可調(diào)
測(cè)量軟件 YX-CNC測(cè)量軟件
操作方式 程序控制+搖桿
選購(gòu)件 電腦、MCP測(cè)頭、自動(dòng)變焦鏡頭、激光測(cè)頭
電源 200V/50Hz/10 |
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