光氧廢氣凈化器的工作機理是采用微波場激發無極燈，從而產生高強的紫外線，這種紫外線是目前工業UV/O3紫外燈中劑量和能量的紫外線，它可以在最短的時間內裂解硫化氫，氨氣等鍵能小于880kJ/mol的分子鍵。一般情況下，光解的時間是大于1秒的，無極燈紫外線同樣能裂解自然界中相對比較穩定的氮氮叁鍵。無極燈紫外線光解氧氣產生臭氧，臭氧能快速氧化金屬性較強的污染物，臭氧量可根據污染物的濃度以及后續反應時間設定。光氧除塵器主要組件可方便拆裝維修或更換，凈化效率可達≥90%。如下：
* 前置過濾棉：具防火隔塵，有效隔離過濾體積稍大的雜物；
* 活性碳層：依要求出口端可增活性碳吸附層（屬選配）。
* 電箱開關門：內有UV燈管控制開關，方便檢修電源及光管等組件；
* 等離子體：依廢氣特性及性質，配置脈沖高頻高壓等離子降解污染物（屬選配）；
* 紫外光燈管：高能紫外線光束，去除有機臭味廢氣；每支燈管均為150W，燈管正常壽命為8000-12000小時；
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