應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體行業(yè) 特種材料冶煉 醫(yī)學行業(yè) 環(huán)保行業(yè) 食品保鮮行業(yè) 微電子工藝設(shè)備 精密濃度傳感器工藝 化學化工等等…
基本參數(shù)
先進的結(jié)構(gòu)，細節(jié)的優(yōu)化。保證儀器準確，穩(wěn)定，可靠
功能 多通道氣體配比裝置
基本型號 MT系列
配比范圍 1PPM以上（定制）
精度（%） ±1
控制閥動作形式 長閉式
線性（%F.S） ±0.5
重復(fù)精度（%F.S） ±0.2
響應(yīng)時間（sec） ≤1
設(shè)備輸出信號 RS232或RS485
電器接頭 DB15pin DB14pin DB9pin 接頭
工作環(huán)境 5-55(℃)
工作壓差 0.05-0.5MPA
漏率 1X10-7SCCMHe
zui大耐壓 3MPA 10MPA
介質(zhì)接觸材質(zhì) 304 316 316L
密封材料 氟橡膠，硅橡膠，丁晴橡膠，聚四氟乙烯，金屬密封性
接頭尺寸 Swagelok 1/8 , 1/4 ,3/8,或φ3，φ6，φ8 φ10 φ12
電源要求 220V, 2 |
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