應用領域
半導體行業 特種材料冶煉 醫學行業 環保行業 食品保鮮行業 微電子工藝設備 精密濃度傳感器工藝 化學化工等等…
基本參數
先進的結構，細節的優化。保證儀器準確，穩定，可靠
功能 多通道氣體配比裝置
基本型號 MT系列
配比范圍 1PPM以上（定制）
精度（%） ±1
控制閥動作形式 長閉式
線性（%F.S） ±0.5
重復精度（%F.S） ±0.2
響應時間（sec） ≤1
設備輸出信號 RS232或RS485
電器接頭 DB15pin DB14pin DB9pin 接頭
工作環境 5-55(℃)
工作壓差 0.05-0.5MPA
漏率 1X10-7SCCMHe
zui大耐壓 3MPA 10MPA
介質接觸材質 304 316 316L
密封材料 氟橡膠，硅橡膠，丁晴橡膠，聚四氟乙烯，金屬密封性
接頭尺寸 Swagelok 1/8 , 1/4 ,3/8,或φ3，φ6，φ8 φ10 φ12
電源要求 220V, 2 |
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