VF10熱式氣體質量流量計采用的熱擴散技術的傳感元件包括兩個帶熱套管保護的電阻式溫度傳感器(RTD),測量氣體時一個電阻式溫度傳感器(加熱RTD)被加熱,另一個電阻式溫度傳感器(參比RTD)用于測量氣體溫度。當傳感器置于無流量的介質中時,由于加熱的作用將在兩只RTD間形成一個溫度差值( △ T)。隨著介質的流動,基于熱傳導原理,介質分子將帶走加熱RTD上的部分熱量,而參比RTD的溫度將保持不變。加熱溫度傳感器的功率(△ P)、溫度差值( △ T)和氣體質量流量(Q)存在如下函數關系:
△ P/ △ T=K1+K2 f(Q)K3
K1/K2/K3是與氣體物理性質有關的常數
基于以上函數關系,按檢測變量的不同可分為溫度檢測法和功率檢測法。前者是指恒定加熱溫度傳感器的功率(P)提供熱量,測量隨流量而變化的溫度差值( △ T),又稱恒功率法;后者是指保持加熱元件和被測流體溫度差( △ T)恒定,控制和測量加熱溫度傳感器的功率(△ P),功率消耗隨著流量增加而增大,又稱恒溫差法。
熱式氣體質量流量計是利用傳熱原理,即流動中的流體與熱源之間的熱量交換關系來測量氣體質量流量的儀表。 |
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