MARK3系列是在未改變質量流量控制器所必須的品質特性的條件下徹底實現成本降低的量產產品。材質和泄漏規格則與一般型號產品的SEC-400、SEC-500系列完全一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據重點關注于重復性以及限定氣體的種類、流量進行大量生產、實現了大幅度的成本降低。最適合于定流量、長時間的穩定控制重復控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。
特征
1.具有廣泛的用途
2.追求成本優勢、實現成本降低
規格
型號 SEC- (質量流量控制器) E40/E40MK3 E50/E50MK3
SEF- (質量流量計) E40 E50
適用氣體種類*1 非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質 SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號 非通電時 關閉
標準流量量程 (N2相應F.S.) 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM 20/30 SLM
流量控制范圍
(適于SEC系列) 2〜100% F.S.
流量測量范圍
(適于SEF系列) 0〜100% F.S.
響應速度 1秒以內(T98)
流量精度 ±1% F.S.
直線性 ±0.5% F.S.
反復性 ±0.2% F.S.
工作差壓值值
(適于SEC系列) 10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d) 10〜30 SLM:100〜300kPa(d)
使用壓力
(適于SEF系列) 300kPa(G)以下
耐 壓 1MPa(G)以下
外部泄漏率 1×10-8Pa・m3/s(He)以下
使用環境溫度 5〜50℃(精度的確保：15〜35℃)
流量設定信號 0.1〜5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2〜100% F.S.
流量輸出信號 0〜5VDC(最小負荷電阻2kΩ)
驅動電源 +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA ＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標準接頭*2 1/4SWL 類型 |
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