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HORIBA SEC-8440F 8450高溫質量流量控制器

HORIBA SEC-8440F 8450高溫質量流量控制器//HORIBA SEC-8440F 8450高溫質量流量控制器

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公　司：上海市首榮工業設備有限公司

發布時間：2018年09月28日

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公司主頁：	http://a68144326.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細說明

質量流量計是用來測量或控制氣體流量的一種設備。流量一般分為體積流量和質量流量，但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響，如需精確測量，需不斷的改變測量條件來配合不斷改變的外界環境。而質量流量，是利用測量氣體的質量，而質量是不受外界的環境的影響，從而可以提供高精度流量檢測和控制，且在半導體制造制程有廣泛的使用。
特征
它是搭載有壓電閥、可在高溫環境中使用的質量流量控制器。
1.適用于高溫：可滿足150℃烘焙
2.產品陣容中有可滿足使用溫度的產品型號
3.超清潔類型：接氣部全不銹鋼構造
4.最適于MOCVD用有機金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制
規格
SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器

氣體接觸部材質 SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時：開
標準流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范圍 2〜100％ F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫度：80〜100℃
SEC-8340SM 本體加溫ヒータ搭載

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