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氣氛管式爐，退火爐，擴(kuò)散爐

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公　司：合肥日新高溫技術(shù)有限公司

發(fā)布時(shí)間：2014年12月16日

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RGL系列氣氛管式爐設(shè)計(jì)用于碳納米管制備、半導(dǎo)體材料擴(kuò)散、氧化和沉積工藝；同時(shí)也用于太陽(yáng)能電池行業(yè)的氮化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅等多種渡膜（LPCVD）工藝。該爐采用FEC陶瓷纖維管保溫，KTL電阻絲加熱，日本原裝進(jìn)口單回路溫度控制儀控制，溫區(qū)設(shè)計(jì)隔板結(jié)構(gòu)，恒溫區(qū)溫度均勻。具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、具有溫度擾動(dòng)小、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)，是企業(yè)、科研院所理想的小批量生產(chǎn)設(shè)備。

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