等離子體化學反應過程中,等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場＋電子→高能電子
(2)高能電子＋分子(或原子)→(受激原子,受激基團,游離基團) 活性基團 (3) 活性基團＋分子（原子→生成物熱 ）
（4）+熱 活性基團＋活性基團→生成物
電催化氧化工藝在低溫等離子體、微波放電，放電電極和一個有效的處理達到排放標準，在實際使用中是一個非常復雜的過程。整個過程在一秒鐘內完成。可以從理論模型探討相關機制，通過集中排放的三種方式，氣體分子從低能電子在1 / 1000秒的電離電磁過渡，在充滿氣體分子鍵斷裂，沖擊斷裂后，由于小質量的粒子進一步轉變，氧離子的氫氧根離子在反應器中反應，生成無害無味的CO2、H 2O和其他的化合物。同時因為臭氧反應和紫外輻射，徹底清除各類排氣化合物。過程從以上可以看出，*一電子能量從電場，能量轉移到原子或分子，分子或原子能被激發(fā)，而一些分子電離，從而成為活性基團；這些活性基團和分子或原子相互碰撞的活動組和活動組之間后穩(wěn)定的產品和熱形成。此外，高能電子化學反應變得很快。作為一個高新技術具有巨大的潛在優(yōu)勢，在環(huán)境污染治理領域，已經引起了人們的關注，具有潛在的優(yōu)勢。因此，目前這種技術是成熟的。
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