潔凈廠房
潔凈廠房介紹
依據大氣污染物存在的形式，可以將大氣污染物分為顆粒物質和氣態物質。所謂顆粒物質是指大氣中粒徑不同的固體、液體和氣溶膠體。
粒徑大于10微米的固體顆粒稱為降塵，由于重力的作用，能在較短時間內沉降到地面；粒徑小于10微米的固體顆粒稱為飄塵，飄塵能夠長期地漂浮在大氣中；粒徑小于1微米稱為煙，通常煙是由燃燒過程產生的。霧是液體顆粒，其粒徑一般在0.1-100微米之間。氣溶膠體則是空氣中的固體和液體顆粒物質與空氣一起結合成的懸浮體，它的粒徑在1微米以下，可以懸浮在大氣中。氣態物質主要有含硫化合物、氮化合物、碳氫化合物、碳氧化合物、鹵素化合物等。
潔凈廠房的定義
該潔凈室的懸浮粒子濃度受控，其建造和使用方式是使進入、產生、滯留于室內的粒子*少；室內其他參數，比如溫度、濕度、氣壓、按需要受控。
為什么需要潔凈廠房？
1、MOCVD的內部腔體雜質粒子不超過10個；
2、每做一道工序之前，都需要進行清洗操作；
3、清洗使用的水是不導電的，電阻甚至在10MΩ以上；
4、使用的一切試劑都是電子純級的，氣體純度都有9N。
非潔凈環境的危害
1、生長外延時混入雜質粒子，將導致量子阱結構遭到破壞，可能使LED芯片喪失發光能力；
2、制作電極時混入雜質粒子，將導致芯片ESD下降；
3、任何一道工序中芯片沾上雜質粒子都會使LED穩定性顯著下降！
如何實現一個潔凈廠房?
1、潔凈廠房位置選擇和總平面布置
2、初期廠房的建造（無油設備、先進的空調機組、科學的廠房設計）
3、設備的安裝、調試（全部密封運輸、現場拆封）
4、工作人員的潔凈處理
5、日常的保養、維護
潔凈廠房的工作原理
傳統通風型潔凈室 單向流潔凈室
防靜電問題
器件具有線間距短、線細、集成度高，低功率、低耐壓和輸入阻抗高的特點，因而導致器件對靜電越來越敏感，稱之為靜電敏感（ESDS）器件。
高密度集成元件中，不論是MOS器件，還是雙極型器件都可能因靜電電場和靜電放電電流引起失效，或者造成難以被人們發現的“軟擊穿”現象，給整機留下潛在的隱患，直接影響著電子產品的質量，壽命，可靠性和經濟性。
靜電是如何產生的
靜電一般指靜止的電荷。指物體表面出現不平衡的電子由不足或過刺的電子總量決定表面電荷量,表面電子不足帶正電，表面電子過剩則帶負電。我們把電荷的產生和消失過程的電現象稱為靜電現象。
日常各種行動所產生的靜電強度與環境的關系：在我們日常生活中．如走動、翻書、磁帶旋轉．將唱片從袋中抽出、穿衣、脫衣（特別是化纖制品）甚至空氣流動都會產生靜電。 靜電的強度因為物體材質、摩擦與相對運動的速度、壓力 |
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