| Ultrapure-100包括充沛的光電系統、計數和通訊電路、一個獨特的流速控制系統，所有的都集成在一起能滿足各種應用。例如在DI water制造廠內監控，整個系統的流速超過of 1.0 L/min，這樣結果就有非常快的清洗，恢復時間及精確的流速，甚至于動態的入口壓力. Ultrapure-100是一個近似于完美的系統，特別易于安裝或集成到現在系統中。如FMS（facility monitoring system ）或 BMS（building management system）。也可以選擇作為一個獨立的測試儀器，還有許多可用的兼容配套軟件。 特點： 0.1和0.2μm的標準顆粒尺寸，可在0.1和5.0μm范圍內定制 極好的流量控制和動態的入口壓力調節具備極快的清潔和恢復時間 高流速保證了快速的清洗時間 優秀的流量調節，一體化設計保證了低維護量 激光能量診斷，顆粒計數軟件和完全的可追溯NIST標準4-20mA輸出 應用： 電子半導體制造超純水系統顆粒計數檢測 性能： 測量粒徑尺寸（μm）：0.1,0.2 系統流速>1L/min 樣品流速 10ml/min, 樣品壓力設置30-100psig 光源采用激光二極管 |
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