開爾文探針(Kelvin Probe)是一種非接觸無損震蕩電容裝置，用于測量導體材料的功函數(Work Function)或半導體、絕緣表面的表面勢(Surface Potential)。
材料表面的功函數通常由最上層的1-3層原子或分子決定，所以開爾文探針是一種最靈敏的表面分析技術。
我們的開爾文探針系統包括：
□ 單點開爾文探針(大氣環境及氣氛控制環境)；
□ 掃描開爾文探針(大氣環境及氣氛控制環境)；
□ 超高真空(UHV)開爾文探針；
□ 濕度控制的腐蝕開爾文探針；
掃描開爾文探針系統 (ASKP)
ASKP系統是一款可以被大多數客戶所接收的高端掃描開爾文探針系統，它是在SKP基礎之上包括了彩色相機/TFT顯示器、2毫米和50微米探針、外部數字示波鏡等配置，其規格如下：
□ 2毫米，50微米探針；
□ 功函數分辨率 1-3 meV(2毫米針尖)，5-10 meV(50微米針尖)；
□ 針尖到樣品表面高度可以達到400納米以內；
□ 表面勢和樣品形貌3維地圖；
□ 探針掃描或樣品掃描選配；
□ 彩色相機、調焦鏡頭、TFT顯示器和專業的光學固定裝置；
□ 參考樣品(帶相應的掃描開爾文探針系統的形貌)；
□ 備用的針尖放大器；
□ 24個月超長質保期；
儀器的特色
□ 全球*一臺商用的完全意義上的開爾文探針系統；
□ *高分辨率的功函數和表面勢，*好的穩定性和數據重現性；
□ 非零專利技術(Off-null,ON) ——ON信號探測系統在高信號水平下工作，與基于零信號原理(null-based,LIA)的系統相比，不會收到噪聲的影響擁有高靈敏度；
□ 高度調節專利技術 ——我們的儀器在測量和掃描時可以控制針尖的高度。因為功函數受 樣品形貌的影響，針尖與樣品表面距離的調節意味著數據的高重現性且不會漂移；
□ 該領域內，擁有*好的信噪比；
□ 快速響應時間 ——測量速度在0.1-10秒間，遠快于其他公司產品；
□ 功能強的驅動器 ——選用Voice-coil(VC)驅動器，與通常的壓電驅動器相比，VC驅動器頻率要穩定得多、控制的針尖振幅大得多、支持平行多探針操作、支持不同直徑探針操作；
□ 所有開爾文探針參數的全數字控制； |
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