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專業生產：四氟化碳四氟甲烷
四氟化碳（CF4）
項目
指標純度%
四氟化碳（CF4）
99.999%
99.9997%
99.99994
雜質含量
氮氣
﹤5ppm
﹤1ppm
氧氣
﹤2ppm
﹤0.5ppm
﹤100ppb
氬氣
-
-
﹤20ppb
氫氣
-
﹤0.5ppm
﹤100ppb
總烴
﹤1ppm
﹤0.1ppm
﹤50ppb
一氧化碳
﹤1ppm
﹤0.1ppm
﹤50ppb
二氧化碳
﹤1ppm
﹤0.25ppm
﹤100ppb
水
﹤2ppm
﹤1ppm
﹤200ppb
主要用途:
在常溫下,四氟化碳是無色、無臭、不燃的可壓縮性氣體，揮發性較高，是*穩定的有機化合物之一，在900℃時，不與銅、鎳、鎢、鉬反應，僅在碳弧溫度下緩慢分解，微溶于水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時,會分解產生有毒氟化物。
四氟化碳是目前微電子工業中用量*大的等離子蝕刻氣體,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合氣,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。
四氟化碳參數說明http://www.kdgc.cn/GetKnowledge/zh-CN/p288.aspx
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佛山市科的氣體化工有限公司
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專業生產制造商
相關產品:特種氣體;特殊氣體;高純氣體;電子氣體;六氟化硫(SF6);四氟化碳(CF4);一氧化氮(NO);高純二氧化碳(CO2);氧化亞氮(N2O);高純甲烷(CH4);乙烷(C2H6);高純丙烷(C3H8);高純丙烯(C3H6);正丁烷(n-C4H10);異丁烷(i-C4H10);滅菌氣體;環氧乙烷殺菌氣;環氧乙烷薰蒸氣體
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