| 無塵車間的動線規(guī)劃所謂[動線],是指人員、原料之入室路線,與人員與成品的出室路線。規(guī)劃時,要檢討分析人(車)路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運和作業(yè)之流程等,盡量縮短動線,并避免交叉,以防止交叉污染(Cross Contamination)。要點:1. 作業(yè)者、材料、化學藥品等動線勿集中。2. 制造裝置之出入,需不對作業(yè)產(chǎn)生大影響。3. 超無塵車間四周,宜設緩沖區(qū)(即較差無塵區(qū))。無塵車間的規(guī)劃 一般性的規(guī)劃重點無塵車間的整廠規(guī)劃(Turn Key Projects)(如表3-1),因涉及范圍極廣,需建筑、水電、空調、環(huán)保、防震、制造等各項專業(yè)人才共同規(guī)劃,盡管不少無塵車間規(guī)劃,多需要就于既有的建筑物,然而,為避免失誤應盡可能事先確認下列事項:1. 潔凈度等級。 2. 室壓之平衡措施。3. 溫濕度要求。 4. 機器設備之必要性。 無塵車間標準-分類1.亂流式(Turbulent Flow): 空氣由空調箱經(jīng)風管與無塵車間內之空氣過濾器(HEPA)進入無塵車間,并由無塵車間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無塵車間等級1,000-100,000級。 優(yōu)點:構造簡單、系統(tǒng)建造成本低,無塵車間之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高無塵車間等級。 缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。 2.層流式(Laminar): 層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風,此型式適用于無塵車間等級需求較高之環(huán)境使用,一般其無塵車間等級為Class 1~100。其型式可分為二種:(1)無塵車間水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。 優(yōu)點:構造簡單,運轉后短時間內即可變成穩(wěn)定。 缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。 (2)無塵車間垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。 優(yōu)點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。 缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。 |
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