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藝鑫電氣維修德國 SINGULUS 濺鍍電源、美國 MKS/ENI 濺鍍電源、ADVANCED ENERGY 美國 AE 濺鍍電源、RF 射 頻電源、DC 直流電源、AC 交流電源。更專業的技術，更迅速的響應高速增長的等離子體薄膜制造工藝之尖端電源的維修。
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藝鑫電氣同時為各地區的半導體、數據存儲、光電子、真空鍍膜、真空濺鍍、研究所等行業提供專家級射頻電源維修保養。為ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供維修維護服務。
Ion Beam Drive ： ID-3500,ID-3501,IT-2500,IT-3500 DC( 直流系列 ) ：
MDX Series: MDX 5,MDX 10,MDX 20,MDX 30,MDX-052,MDX 1K,MDX 1.5K,MDX 500,MDX Delta MDX II Series: MDX II 15kw(15-120KW)
Advanced Energy MDX MAGNETRON DRIVE SLAVE
ADVANCED ENERGY PINNACLE Series: Pinnacle 6KW,Pinnacle 12KW,Pinnacle 10KW,Pinnacle 20KW,Pinnacle 8KW,Pinnacle 15KW
ADVANCED ENERGY PINNACLE 3000 PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW,Pinnacle Plus+ Dual output 5KW,Pinnacle Plus+ 10KW
DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW,Pinnacle Diamond 10KW,Pinnacle Diamond 15KW
ADVANCED ENERGY MDX-L Series: MDX-L6,MDX-L 6kWHALO,MDX-L12,MDX-L 12M,MDX-L 12M 650,MDX-L18
ADVANCED ENERGY MDX-10K-MASTER 2225-037-A
ADVANCED ENERGY MDX13
ADVANCED ENERGY MDX-MASTER 2225-000
ADVANCED ENERGY MDX SLAVE 2221-005-N
ADVANCED ENERGY 3152225-048A
ADVANCED ENERGY 2221-005-P
ADVANCED ENERGY 2225-009-W
ADVANCED ENERGY 2221-012-A
ADVANCED ENERGY AE05722B 2300 RFG 5500 NOVELLUS CONTROL
ADVANCED ENERGY SPARC Series: Sparc-le 20,Sparc-le V,Sparc VS E'Wave DC Pulsing Accessoires : DC PULSAR
ADVANCED ENERGY AE RFX-II 3000 13.56Mhz RF Plasma PSU
AC( 交流 / 中頻系列 ) ：
PE: PE 1000,PE 2500,PE 3750,PE 5000,PE-10K,P E-20K,PE-30K,PE-1000SG PE II PE II 5KW,PE II 10KW,PE II 60KW
PDX ：PDX 500,PDX 900-2V,PDX 1250,PDX 1400,PDX 2500,PDX 5000,PDX 7.5K,PDX 8000,PDZ 2200,MSD 350W
PDW 600,PDW 2200 ； PDP 2500,PDP 3500 ； PEP 250,PEP |
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