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供應(yīng)超（高）純氫氣凈化器

供應(yīng)超（高）純氫氣凈化器_北京北氧特氣工程技術(shù)有限公司_供應(yīng)超（高）純氫氣凈化器

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公　司：北京北氧特氣工程技術(shù)有限公司

發(fā)布時(shí)間：2020年09月27日

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詳細(xì)說(shuō)明

氫氣是硅外延淀積的硅源、摻雜源及攜帶氣體，也是淀積過(guò)程中的還原氣體，同時(shí)還廣泛應(yīng)用于超大規(guī)格集成電路制造、航天燃料電池制造、配制某些混合氣的底氣和實(shí)驗(yàn)室儀器用載氣。上述這些環(huán)節(jié)對(duì)氫氣純度要求很高，要求氫氣純度達(dá)到6N以上甚至更高。
本裝置結(jié)構(gòu)緊湊，體積較小，純化效果好，能耗低，催化劑可長(zhǎng)期使用,無(wú)需再生處理，吸附劑在裝置內(nèi)再生循環(huán)使用。超高純氫氣在電子工業(yè)部門(mén),用作氫氣還原制取半導(dǎo)體超純材料鍺和硅,及用在半導(dǎo)體器件和集成電路的外延工序中及載氣和燃燒用氣。
原料氫氣來(lái)源：電解水氫、瓶裝氫氣
處理氣量：0.5-3000m3/h
氫氣純度：99.999-99.9999999%

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