產品描述
PSVL54-200U緊湊型線性納米定位臺，沿Z方向可提供200μm行程的運動。其緊湊的設計使其成為許多光子學和光纖定位應用的理想工具。
Z軸納米定位線性位移臺是基于壓電壓電陶瓷驅動的線性位移臺，由于固態彎曲和平行結構，這些壓電平臺可以在X和Z方向上移動而沒有任何機械間隙。 它們可提供比機械或機電系統更高的分辨率。本系列產品包含X、XY、XZ、XYZ產品可供用戶選擇。
PSVL54-200U系列位移臺可以輕松地與XY和壓電偏轉旋轉系統結合使用，以提供所有自由度的定位。
閉環版本具有高分辨率應變片式位置傳感器，可實現高精度和可重復的運動，還可以補償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環電橋設計。它可以在開環或閉環控制中運行。
PSVL54-200U非常適用于小部件（例如反射鏡和激光二極管）的納米級精確定位，特別是在需要長期穩定性的應用中。
產品特性
—高柔性鉸鏈確保高可靠性
—運動可達200μm（閉環）
—集成式杠桿傳動
—可提供X向位移臺、版本包含XY、XZ和XYZ版本
選配功能
—可定制轉接裝置
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(SGS) 位置反饋系
—可定制固定及負載安裝孔位
應用領域
—光纖定位，激光光學
—表面測量技術
—半導體計量學
光子聚合、光纖定位 |
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